第三百二十二章 为华夏芯片崛起而抄

李兴没有说大话，第二天他就拿着一份方案找到了郑南。

“郑厂长，我认为现在无法推进更高制程的主要原因，除了一个是光刻技巧外，还有更重要一点就是无法制作相应的光掩模。”

接触式光刻的原理就是用光这把刻刀透过光掩模这块遮光板，把想要的芯片图案1:1等比例投射在下面的硅片上。

也就是说下面芯片能做出多精细的制程，首先得取决于你能做出多少的光掩模，你不可能拿一张一毫米的光掩模做出10微米的芯片来，相反你要是能拿出一微米的光掩模，也未必不能做出一微米制程的芯片。

“光刻技巧这方面我不懂，所以给不出任何建议，但对于更精细光掩模的制作，我却有一个好想法。”

“我看过无线电厂的光掩模制作，都是直接拿刻刀在光掩模玻璃上刻画，这种技术注定无法往更精细推进，而我的想法是如果我们能用一台高清相机，先把芯片图纸拍下来，利用相机的缩放技术曝光在底片上，再想办法把底片做成光掩模，就能得到一张高精度制程光掩模了。”

郑南很有兴趣：“李主任你可以呀，这想法可太好了！”

的确，相机的工作原理就是将一幅大画面缩放储存在一张一寸大小的底片上，那么现在如果把芯片图纸利用这个原理缩放到底片上，确实可以得到一张微米级别的光掩模。

“不过这里有两个问题，一是缩放比例，多大的图纸经过相机多少倍缩放比例能得到一张合适的底片；二则是这种相机底片怎么做光掩模，材料都不一样吧。”郑南提出自己的担心。

李兴却大手一挥表示这都有办法解决，第一点他可以周密计算，同时也要多做实验。

而第二点就更简单了，李兴说底片的材料跟光掩模天然接近，几乎不用做太多处理就能直接使用。

郑南点头表示理解，就跟现在学校里用的那种投影幻灯片一样的原理。

“现在最大的问题是相机。”李兴说，“因为这一步最重要的是在底片上留下纹理分明的图案，必须要高清相机才行，普通的家庭相机根本达不到目标。”

李兴不好意思看了郑南一眼表示可能还得去麻烦许主任：“毕竟这种高清相机只可能电视台才有。”

郑南点头表示没问题：“我待会就给她打电话，能借就借，不能借我们就租，或者通过许主任那边的关系买，因为这东西以后要用的时候会挺多。”

说完李兴这边的事情，郑南也拿出了自己的笔记本递出去：“李主任你看看这是我昨天晚上想的一种投影式光刻机构造，你看下能不能实现。”

李兴那边在努力，郑南也同样没闲着。

或许郑南不是芯片工程师，但得益于后世的信息大爆炸，尤其后世又是在光刻机上被卡脖子的时代，因此各种关于光刻机的科普视频满天飞，郑南也真真假假看了一脑袋。

现在李兴在升级光刻机技术上遇到了瓶颈，自己怎么样都得拿出点东西来，要不然就太对不起重生者的身份了。

别人重生都抄歌抄诗词，自己抄个光刻机构造不过分吧。

况且自己这也是为了华夏芯片的崛起而抄，是有理想的！

李兴才拿起来，然后就傻眼了，好半天才苦笑着说一句：“郑厂长的绘画技艺有点哲学。”

郑南老脸一红，这才想起自己根本没有绘画功底，画出来的东西都很抽象，不像李兴和周敏德这些人，郑南是真不知道他们画出来的图纸怎么就能那么工整，搞的跟照相下来的一样。

难道这年头做工程师还需要先学会绘画吗？

“不要在意这些细节，李主任你主要看看我的构想，通过类似潜望镜的光学反射折射原理，就能把掩膜版从光刻胶上拿起来，跟看电影一样投影到硅片上。”

郑南想了想接着说道：“这是我在宁海一次偶然机会听说的，大概是这个逻辑，李主任你看看对不对。”

李兴认真盯着郑南的笔记本看了好一会，然后拿起办公桌上的纸和笔，又重新画了一幅设计方案。郑南只看一眼就高兴道：“没错，这就是我想画的！”

李兴抬头：“郑厂长这份光刻机设计方案您是在哪听到的？”

郑南一愣：“就在光学仪器厂，那时小鬼子正要收购仪器厂，小鬼子那家企业正好也是做光刻机的，那是一个巧合他们打电话，以为我听不懂英语，没避讳我，我才听到的。”

郑南一字一顿的说着，中间还磕磕绊绊，显然就是现编的，不过紧接着郑南马上问：“是这设计方案有什么问题吗？”

李兴连连摇头：“不，非但没有任何问题，相反这份方案简直太好啦！”

“或许看起来还有点简陋，但不可否认，这已经是下一代投影式光刻机十分成熟的设计方案啦！”李兴激动万分，“郑厂长您简直就是天命之子呀！”

郑南松口气，没问题就好，郑南真怕自己凭着印象画，结果给批的一文不值，现在看来还是可以的。

“那能不能就这套方案继续研究，我们争取把下一台光刻机升级一下？”郑南询问。

李兴点头表示理论上可以：“只是这一次的镜头就不够用了，还缺几块全反射镜。”

郑南毫不犹豫马上拨通了宁海光学仪器厂的电话，让人去喊了车间里的庄卫。

庄卫急急忙忙跑来，听了郑南的要求松口，原来只是全反射镜，他还以为是光刻机镜头坏了，于是很豪爽道：“全反射镜很容易弄，没有过多的加工，主要在涂层上，如果郑经理你需要，我今天就可以做出至少三十块给江夏寄过去。”

李兴在旁兴奋的连连点头。

郑南于是告诉庄卫让他先寄三十面全反射镜过来。

挂断电话的一瞬间，李兴高兴的都要跳起来了，兴奋的手舞足蹈：“太好啦！有这些全反射镜我就有机会开发出投影光刻机，比65光刻机更先进，不需要接触的高级光刻机啦！”

郑南很能理解李兴的兴奋，毕竟如果可以的话，哪个工程师会愿意考古过去的产品，哪个工程师不想开发新产品呢？